سنسور نیروی پیزو مقاومتی MEMS در نرم افزار کامسول
سنسور نیروی پیزو مقاومتی MEMS بر اساس فیلمهای کربن آمورف رسوبشده با کندوپاش DC مقدمه مقاله تقاضای رو به رشد سریع سنسورهای سیستم میکرو الکترومکانیکی (MEMS) نیاز فوری به مواد حساس با کارایی بالا و کم هزینه را به همراه دارد. در این کار، فیلم کربن آمورف (a-C) در محل بر روی بستر سیلیکونی به […]