آموزش رایگان سیلواکو Silvaco

زدایش در نرم افزار سیلواکو (silvaco)

زدایش در سیلواکو Silvaco

در سیلواکو Athena دو نوع عملیات زدایش امکان پذیر است یکی به صورت هندسی که توسط Suprem انجام می شود و دومی به صورت فیزیکی توسط Elite ممکن می شود.

• هندسی توسط Suprem در سیلواکو به عنوان مثال

Etch oxide start x=0 y=0

Etch cont x=0 y=1

Etch cont x=1 y=1

Etch cont x=1 y=0

با این دستور می توان به هر شکلی عملیات زدایش را انجام داد. تنها نکته ای که در نوشتن نقاط لازم است که نقاط به صورت رئوس متوالی نوشته شود. باید توجه داشت نرم افزار نقطه done را به start وصل می کند.

شبیه سازی نرم افزار SILVACO سیلواکو

• فیزیکی با ماژول در سیلواکو Elite

در این روش مانند لایه نشانی در Elite لازم است ابتدا ماشینی با خصوصیات مورد نظر تعریف و سپس این ماشین برای عملیات مورد نظر فراخوانی شود. در مثال زیر نحوه به کاربردن این دستور نشان داده شده است.

مثال کاربردی زدایش در سیلواکو Silvaco

بر روی ویفر سیلیکون فتورزیست با ضخامت 0.5 میکرومتر لایه نشانی کنید. سپس پنجره ای باز کنید و عملیات زدایش با مدل های مختلف موجود در نرم افزار برای سیلیکون انجام دهید و نتایج را مقایسه نمایید.

Go athena

Line xloc=0.00 spac=0.05

Line x loc=2.00 spac=0.05

Line y loc=0.00 spac=0.05

Line y loc=1.00 spac=0.05

Init orientation=100

Deposit photoresist thick=0.5 div=8

Etch photo x=0.65 y=-10

Etch cont x=0.75 y=10

Etch cont x=1.20 y=10

Etch done x=1.35 y=-10

در این مرحله فایل ذخیره و سپس برای مدل های مختلف فراخوانی می شود.

Structure outfile=an.str

 

اولین مدل مورد بررسی مدل همسانگرد یعنی نرخ زدایش در سیلواکو در تمامی جهت ه یکسان است، استفاده می شود. به این منظور ماشینی به نام adl برای زدایش ماده سیلیکون و میزان همسانگردی 50 درصد و به صورت RIE تعریف می شود. واحد نرخ زدایش نیز آنگستروم بر ثانیه تعیین شده است.

Rate.etch machine=adl silicon a.s rie isotropic=50.0

ماشین تعریف شده فراخوانی و به مدت 2 دقیقه فعال می کنیم.

Etch machine-adl time=2 minute dx.mult=0.5

فایل را ذخیره کنید.

Structure outfile=an1.str

دوباره فایل ذخیره شده بعد از لیتوگرافی فوتورزیست در سیلواکو Silvaco را فراخوانی و مدل جهت دار را انتخاب کنید.

Init infile=an.str

Rate.etch machine=adl silicon a.s directional=50.0

Etch machine=adl time=2 minute dx.mult=0.5

Structure outfile=an2.str

 

در نهایت کد مربوط به مدل زدایش از نوع شیمیایی در سیلواکو Silvaco را نیز بنویسید

Init infile=an.str

Rate.etch machine=adl silicon a.s rie chemical=50.0 div=5

Etch machine=adl time=2 minute dx.mult=0.5

Structure outfile=an3.str

فایل ذخیره شده را با دستور tonyplot در نرم افزار سیلواکو باز کنید . برای نمایش تمامی ساختارها در یک تصویر و امکان مقایسه عبارت -st قبل از نام فایل بنویسید . همچنین می توان با توجه به یکسان بودن نام فایل ها و تنها تفاوت در عدد به جای عدد علامت * قرار داد.

Tonyplot -st an3.str

quit

جهت یادگیری کامل نرم افزار سیلواکو آموزش های رایگان ما را در سایت حامی پروژه دنبال نمایید. و در صورت مشکل در انجام پروژه های سیلواکو خود با متخصصین حامی پروژه در تماس باشید. برای ارتباط با تیم تخصصی سیلواکو حامی پروژه با شماره 09934702599 تماس حاصل نمایید.