آموزش رایگان سیلواکو Silvaco
لایه نشانی الکترود در سیلواکو SILVACO
لایه نشانی در سیلواکو Silvaco
لایه نشانی آلومینیوم بر روی ویفر و سپس ایجاد الگو الکترودها در نرم افزار سیلواکو بر روی آن به صورت کد نویسی زیر می باشد:
Deposit aluminum thickness=0.1
Etch aluminum left p1.x=1.50
Etch aluminum right p1.x=2.50
در این مرحله فرآیند ساخت به پایان رسیده است اما در صورتی که قصد استفاده از آن در نرم افزار Atlas سیلواکو را دارید باید الکترود های آن را تعریف نمایید. صرفا کافی است که به یک نقطه فلزی الکترود نسبت داده شود.
Electrode name x=2.0
Electrode name=cathode backside
در نهایت باید ساختار را ذخیره نمود تا بعدا بتوان از آن در نرم افزار atlas سیلواکو Silvaco استفاده نمود.
Struct outf=diode_2d.str
Tonyplot diode_2d.str
در صورتی که بخواهید پارامتری نظیر عمق نفوذ بعد از کاشت یونی یا دیفیوژن را در سیلواکو Silvaco به دست آورید به طریق زیر عمل می نمایید.
محاسبه عمق نفوذ در سیلواکو Silvaco
Extract name=”Xj_ion” Xj material=”silicon” mat.occno=1 junc.occno=1
Xj_ion نام دلخواه ولی xj پارامتر عمق نفوذ است. این دستور عمق نفوذ را در اولین سیلیکون و اولین عمق نفوذ در x=2 محاسبه می کند. در واقع مقدار y را در محل پیوند می دهد.
با این دستور می توان کمیت هایی نظیر ضخامت اکسید، تراکم ناخالصی در سطح ، مقاومت صفحه ای، ولتاژ آستانه و… را محاسبه نمود.
محاسبه ضخامت در سیلواکو Silvaco
Extract name=”Tox” thickness oxide mat.occno=1 x.val=2.0
محاسبه Rs در نرم افزار سیلواکو Silvaco
Extract name=”rho” sheet.res material=”silicon” mat.occno=1 x.val=2.0 region.occno=1
محاسبه غلظت ناخالصی در سطح
Extract name=”NS” suf.conc impurity=”phosphorus” material=”silicon” x.val=2.0
نتایج دستور extract در قسمت Run-Time در پایین صفحه نرم افزار نمایش داده می شود.
در ادامه ابتدا موتور اتلس فراخوانی می شود تا بتوان مشخصه های الکتریکی افزاره را بدست آورد کد نویسی به صورت زیر می باشد
Go atlas
سپس مدل های مورد نیاز با طراحی را که در آزموزش های بعدی کامل توضیح خواهیم داد هر کدام چه کاربردی دارند بیان می شوند
Model conmob fldmob srh auger bgn
سپس دستور حل ساختار را می نویسیم
Solve init
بعد متد حل را معرفی می نماییم
Method newton
جهت اینکه بتوانیم نمودار دو بعدی جریان -ولتاژ را در سیلواکو Silvaco مشاهده نماییم ابتدا باید ساختار را به صورت .log معرفی نماییم.
Log outfile=d.log
حال می توانیم یک بازه ی ولتاژی را برای الکترود در کد نویسی سیلواکو معرفی نماییم.
Solve vanode=0.5 vstep=0.05 vfinal=1 name=anode
جهت نمایش خروجی باید از دستور tonyplot استفاده نماییم.
Tonyplot d.log
جهت یادگیری کامل نرم افزار سیلواکو آموزش های رایگان ما را در سایت حامی پروژه دنبال نمایید. و در صورت مشکل در انجام پروژه های سیلواکو خود با متخصصین حامی پروژه در تماس باشید. برای ارتباط با تیم تخصصی سیلواکو حامی پروژه با شماره 09934702599 تماس حاصل نمایید.